在合肥新站高新区的一栋研发楼里，一台价值数千万元的12英寸产业级薄膜沉积设备正在进行调试。不久的将来，它将进入国内头部半导体企业的产线进行验证。如果成功，这将打破国外在该领域长达数十年的垄断。
　　这台设备的研制者，是一家成立仅五年的年轻企业——合肥致真精密设备有限公司。从“手搓”第一台原理样机到获评安徽省专精特新中小企业，从科研级设备到产业级量产装备，致真设备用五年时间走出了一条新质生产力的生动实践之路。
 　 聚焦薄膜沉积设备“卡脖子”环节
　　合肥致真精密设备有限公司成立于2021年5月，是一家专注于高精度物理气相沉积（PVD）设备及其关键组件研发和制造的国家高新技术企业。公司研制了多款具有自主知识产权的国产高端科研级和产业级磁控溅射设备，同时为客户提供薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发等全流程服务。
　　依托北京航空航天大学集成电路科学与工程学院和自旋芯片与技术全国重点实验室的科研支撑，致真设备拥有一支以博士、硕士为主体的研发团队，在磁控溅射阴极、高低温样品台、自主传样系统三大核心部件上实现了完全自研，从根源上保障设备性能与产业链安全。
　　公司秉承“追求极致、务实求真、敢于创新、合作共赢”的致真精神，致力于提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，努力解决集成电路行业“卡脖子”的关键设备和工艺难题。近日，公司成功获评科大硅谷“瞪羚培育企业”，并顺利斩获知识产权合规管理体系权威认证，以硬核实力筑牢创新护城河。
　　从“买不到”到“自己做”
　　2018年，中美贸易战爆发。当时正在北京航空航天大学攻读博士的程厚义（现为致真设备创始人、北航集成电路学院助理教授），研究方向是集成电路材料。然而，当时先进的薄膜沉积设备根本买不到。
　　“买不到，那就自己做。”2019年起，程厚义所在团队承担国家专项课题，开始自主研制薄膜沉积设备。他成为核心成员之一，从机械设计、控制系统到材料工艺，全程参与。
　　“第一台设备，每一个部件都是我亲手搓的。”程厚义回忆。在半导体设备行业，即使像应用材料这样的全球龙头企业，核心装配依然高度依赖人工。这段“手搓”经历，让他完整掌握了设备研制的全链条技术。
　　2021年，这台历时三年打造的原理样机通过专家鉴定。多位院士和业内专家认为设备在多项技术上实现了突破，并建议团队走出实验室，将技术产业化。同年5月，致真设备在合肥正式成立。
　　目前，致真设备已构建起“科研级+产业级”双轮驱动的完整产品矩阵，全面覆盖4至12英寸晶圆薄膜制备需求，真正实现“从实验室到量产线”的全场景适配。致真设备已实现核心部件完全自研，整机零部件国产化率达80%-90%。
　　不止卖设备，更提供工艺解决方案
　　致真设备的差异化竞争力，在于“设备+工艺”的全栈服务能力。
　　“我们原来就是客户，知道大家想要什么。买设备从来不是目的，是为了做产品。”程厚义说。致真设备为客户提供从工艺定制到现场装机的全流程服务——面向超导量子、MEMS、新型存储等领域，定制专属工艺菜单，实现“交钥匙”式交付。
　　公司配备了场发射扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪等完备检测平台，能够提供薄膜表征与性能分析服务。同时，7×24小时快速响应、无商务禁运风险的本土化服务，远超海外品牌。
　　“国外设备厂商售后周期长、费用高，工程师从上飞机开始计时收费，维修一次往往耗时一个月。我们当天就能到现场，当天解决问题。”正是这种“技术+服务”的双轮驱动，让致真设备在激烈的市场竞争中站稳了脚跟。
　　做中国产业升级的“硬核支撑”
　　2023年，程厚义入选北航“卓越百人博士后支持计划”和博士后创新人才支持计划（本专业全国仅15人），同年入选合肥市领军人才。这些个人荣誉的背后，是致真设备作为企业主体的快速成长。
　　谈及未来，程厚义目标清晰：围绕国家重大战略，一方面服务合肥优势的量子产业，为量子芯片制备开发前沿设备；另一方面深入融入本地产业链，在存储芯片龙头企业实现批量导入。
　　“我们的目标是成为全球知名的半导体设备公司。”从打破垄断到领跑行业，致真设备始终以“追求极致、务实求真、敢于创新、合作共赢”的精神，践行“科技自立自强”的使命。
　　从实验室的纳米级打磨，到产线端的自主攻坚，致真设备扎根半导体、量子、MEMS等国家战略领域，以极致精度诉说中国制造，以自主实力筑牢产业链安全。这是致真设备的不凡担当，更是中国高端装备从追赶到引领的铿锵宣言。
　　（全媒体记者 韩如意）